与模板

Question

我正在尝试检测晶圆图像上的缺陷，并将它们与参考模板进行比较。由于图像是专有的，我制作了可以说明问题的样本图像。 样本图像应该是降噪，滤波器曲率拟合和二值化的结果。通过这些步骤我除了降噪之外几乎没有问题，但这不是我们的观点。 问题在于缺陷检测步骤。我使用了图像差异但是由于图案变化和不同的线条厚度，它会导致太多的误报。我尝试了统计建模，其中我将参考图像分成小部分，使每个部分适合分布（在我的情况下我使用weibul）并使缺陷图像相同并进行比较。它能够检测出大的缺陷（比如中间缺失的矩形），但是较小的缺陷却没有。 关于如何进行的任何想法或指示？

参考图像

缺陷图像